A.2 Analisi quantitativa

La determinazione del profilo di concentrazione di un elemento $A$ tramite la tecnica SIMS si ottiene tramite la misura della corrente degli ioni secondari dell'elemento analizzato $I^{\pm}_{A}$. Tale corrente risulta proporzionale alla concentrazione di $A$ tramite la relazione:

$$I^{\pm}_A = I_p F \alpha^{\pm}_{A}(E)Y(E) \gamma_A C_A$$ (A.3)

dove $I_p$ è la corrente degli ioni primari; il fattore $F$ dipende da parametri sperimentali come la risoluzione in energia del filtro, l'angolo solido di rivelazione ed il fattore di trasmissione strumentale; $\gamma_A$ è invece l'abbondanza dell'isotopo dell'elemento A da rivelare. La conversione tra corrente di ioni secondari e concentrazione di un elemento è difficilmente risolvibile dal momento che non si conoscono i fattori di proporzionalità. Usando altre tecniche sperimentali complementari, come ad esempio l'RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry), è possibile conoscere la dose totale di un elemento e normalizzare perciò il profilo d'indice. Per la conversione della scala di tempo di erosione in una scala di profondità, si ipotizza che la velocità di erosione sia costante per tutta la misura; questa si ricava dalla durata totale dell'analisi e dalla misura della profondità del cratere scavato per mezzo di un profilometro.

Guide di luce in niobato di litio drogato con ferro per applicazioni olografiche
Barbara Imperio
email-me