A.1 Resa degli ioni secondari

Il numero totale delle particelle emesse per ione primario incidente è definito resa di sputtering :

$$Y=\frac{Numero totale di particelle emesse}{Numero di ioni incidenti}$$ (A.1)

dipende dalla struttura e dalla composizione del campione da analizzare, dai parametri del fascio incidente e dalla geometria sperimentale. Valori tipici per ioni primari di Cs⁺ variano tra 0.5 e 20. Solo una piccola frazione delle specie emesse dal campione è ionizzata e può essere rivelata. Si definisce resa degli ioni il numero di ioni secondari prodotti per ione primario incidente; questo è legato alla resa di sputtering dalla relazione:

$$Y^{\pm}(E)=\alpha^{\pm}_{A}(E)Y(E)C_A$$ (A.2)

dove $\alpha^{\pm}_{A}(E)$ è la probabilità di ionizzazione di carica singola relativa all'elemento $A$ con concentrazione è $C_A$; $\alpha^{\pm}_{A}(E)$ dipende dall'energia delle particelle emesse, dalla natura del substrato e dalla specie degli ioni primari. In generale $\alpha^{\pm}_{A}(E)$ può dipendere anche dalla concentrazione $C_A$ dell'elemento, e in questo caso ha luogo l'effetto matrice; la resa dello ione $A^{\pm}$ perciò può non dipedere linearmente dalla sua concentrazione.

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Barbara Imperio
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