3.3 Impiantazione ionica

L'impiantazione ionica è un'altra tecnica per la realizzazione di guide di luce e consiste nel far incidere un fascio di ioni energetici (H⁺, He⁺, B⁺, N⁺, Ne⁺) sulla superficie del substrato. La zona del campione sottoposta ad impianto subisce una diminuzione degli indici di rifrazione, a causa del danneggiamento da parte degli ioni, frenati per interazione con il mezzo attraversato. La zona guidante è quella non colpita dal fascio, che viene appositamente mascherata durante l'impianto [47]. La profondità di penetrazione degli ioni, pari a 2-6 mm, dipende dalla loro energia (dalla decina di keV ai MeV), e la diminuzione degli indici di rifrazione è dell'ordine di Dn_e= 0.1 e Dn_e= 0.15, per dosi di impianto di 10¹⁶ ioni/cm². A tale tecnica sono oggi preferite PE e diffusione termica.

Guide di luce in niobato di litio drogato con ferro per applicazioni olografiche
Barbara Imperio
email-me